Apa itu Sensor MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)

MEMS adalah singkatan dari Micro Electro Mechanical Systems. Ini adalah teknologi yang terkait dengan pembuatan perangkat skala mikro seperti Sensor, Transduser, Aktuator, Roda Gigi, Pompa, Sakelar, dll.

Dengan kata lain, MEMS adalah perangkat terintegrasi mikroskopis yang merupakan kombinasi dari elemen elektronik, listrik dan mekanik, semuanya bekerja bersama untuk satu kebutuhan fungsional menggunakan teknologi yang disebut Microsystems Technology (MST).

Teknologi MEMS dianggap sebagai bentuk perluasan dari manufaktur sirkuit terpadu (IC) tradisional. Perbedaan utama antara teknologi Manufaktur IC tradisional (VLSI) dan MEMS adalah bahwa menggunakan MEMS Anda tidak hanya dapat membuat komponen listrik seperti Kapasitor dan Induktor tetapi juga komponen mekanis seperti roda gigi, pegas, balok dll. Menggunakan Teknologi IC tradisional, Anda hanya dapat membuat konduktor, isolator, dioda dan transistor.

Ukuran perangkat Berbasis MEMS ini biasanya dalam urutan beberapa mikrometer (antara 1 hingga 100 mikrometer).

Baca juga: Teknologi LED (Light Emitting Diode) - Pengertian, Prinsip Kerja, Aplikasi, dan Sejarah

Poin penting lainnya yang perlu diingat adalah bahwa MEMS adalah integrasi komponen aktif dan pasif ke dalam substrat silikon tunggal dengan bantuan teknologi manufaktur IC yang canggih. Komponen aktifnya adalah Sensor dan Aktuator sedangkan komponen pasifnya adalah sistem elektronik pasif dan sistem mekanik pasif.

Sistem elektronik, yang terdiri dari rangkaian pemrosesan sinyal seperti Amplifier, ADC, Filter dll dirancang menggunakan Proses Fabrikasi IC sedangkan sistem mekanis, yang terdiri dari Gears, Cranks, Bearing dll dirancang menggunakan Proses Micromachining.

Apa itu Sensor MEMS?

Sensor merupakan salah satu komponen penting dunia digital saat ini. Karena semua komputasi dan pemrosesan dilakukan pada sinyal digital, harus ada media antara dunia analog dan elektronik digital . Sensor menjembatani celah ini karena digunakan untuk mengamati efek temporal dari parameter fisik analog dan menghasilkan informasi yang berarti (ke komputer).

Definisi modern dari Sensor terkadang membingungkan tetapi dengan kata sederhana Sensor adalah perangkat yang berisi elemen penginderaan dasar yang merasakan kuantitas fisik seperti suhu atau kelembaban dan mengubahnya menjadi sinyal listrik. Sensor juga terdiri dari unit pemrosesan sinyal seperti amplifier, filter atau ADC atau kombinasi dari elemen-elemen ini.

Berbagai Jenis Sensor MEMS

Salah satu pelaksana utama teknologi MEMS adalah industri otomotif. Mobil modern menggunakan banyak sensor dan sebagian besar adalah perangkat berbasis MEMS. Berikut ini adalah daftar MEMS Sensor yang digunakan pada mobil modern.    

• Akselerometer
• Unit Pengukuran Inersia atau IMU (kombinasi dari MEMS Accelerometer dan MEMS Gyroscope) 
• Magnetometer
• Sensor Tekanan dan Inersia
• Sensor Tekanan
• Sensor Aliran Udara
• Sensor Bahan Bakar
• Sensor Benturan dan Tabrakan
• Mikrofon MEMS
• Sensor Suhu
• Ada banyak perangkat berbasis MEMS lainnya untuk berbagai aplikasi.

Aplikasi Sensor MEMS

Sensor MEMS sudah digunakan dalam berbagai aplikasi seperti mengendalikan dan menangani peralatan, mengelola robot, mobil, gripper, dll. Anda dapat menemukan sensor ini di printer ink jet modern, Proyektor Warna, Sistem Tampilan, Jam, dan peralatan Pemindaian.

Teknologi MEMS digunakan untuk memproduksi berbagai sensor seperti Sensor Tekanan, Suhu, Getaran, dan Kimia.

Akselerometer, Giroskop, e-Kompas, dll. adalah beberapa Sensor MEMS yang umum digunakan di mobil, helikopter, pesawat terbang, drone, dan kapal.

Baca juga: Silicon controlled rectifier (SCR), Pengertian, Cara Kerja, dan Karakteristik

Beberapa sektor aplikasi Sensor berbasis MEMS disebutkan di bawah ini:

• Otomotif
• Kimia dan Farmasi
• Pesawat terbang
• Otomasi Industri dan Manufaktur
• Pertahanan, Luar Angkasa, dan Penerbangan
• Ilmu Lingkungan dan Kesehatan
• Komputasi dan Komunikasi